分子式：SiH4 含量：≥99.9999%
CAS NO：7803-62-5 包装：钢瓶 tank罐
用途：硅烷已成为半导体微电子工艺中使用的最主要的特种气体，用于各种微电子薄膜制备， 包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。硅烷的微电子应用还在向纵深
发展：低温外延、选择外延、异质外延。不仅用于硅器件和硅集成电路，也用于化合物半导体器件(砷化镓、碳化硅等)。在超晶格量子阱材料制备中也有应用。可以说现代几乎所有的集成电路的生产线都需用到硅烷。硅烷的纯度对器件性能和成品率关系极大，更好的器件需要更高纯度的硅烷。
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